超純水設備的過濾步驟如下：

       純凈水：利用凈水技術除去水中大量的有機成分、金屬離子、有害雜質及細菌，并保留對人有益的微量元素。

       活性炭：它是一種微孔發達的碳化合物，有很豐富的空隙結構(每克達1000平方米)，因而具有很強的吸附性能，是水處理運用很普遍的凈水材料之一。能夠去除水中的異色、異味、有機物、余氯，改變水的口感.

       微濾：過濾精度是一般在0.03-15微米，是一種以靜壓為推動力，利用網狀過濾介質的篩介質的篩分作用進行分離的膜過程，微濾膜具有比較整齊、均勻的多孔結構，在靜壓差作用下，小于膜孔的粒子通過膜，比膜孔大的粒子被截留在膜表面，使大小不同的組分得以分離。

       納濾：納濾膜介于反滲透膜和超濾膜之間，其特點是只對特定的熔質具有高脫除率，主要去除直徑為一個納米左右的溶質粒子，截留分子量為100-1000MWCO在飲用水領域主要用于脫除硬度成分、三鹵甲烷中間體、異味、色度、合成洗滌劑、可溶性有機物和蒸發殘留物質。在很低壓力下仍具有較高脫鹽性能。對高硬度水進行軟化、脫鹽是納濾膜應用的很大領域。

       反滲透：此過濾精度在0.00001微米左右，理論上講可濾除水中雜質(包括有害的和有益的)，只能允許水分子通過。一般用于飲用純凈水、工業超純水等的制造。此技術需要對原水回壓。利用控制系統可對反滲透膜進行反沖洗，上升膜的使用壽命。
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